激光干涉仪

一维激光可以主要测量定位误差三维激光可以测量定位误差，直线度误差（双向）5D / 6D激光可以测量定位误差，直线度误差（双向），偏航角，俯仰角和滚动角5D / 6D标准型：1。线性：0.5ppm。
2.测量范围：40米（1D可选80米）3。线性分辨率：0.001um。
4.偏航和俯仰角的精度：（1.0 + 0.1 / m）角度秒或1％显示更大的值5.最大范围：800角秒6.滚动角精度：1.0角秒7.直线度精度：（1.0+ 0.2 / m）um或1％显示更大的值8.直线度最大范围：500um 9.垂直度精度：1弧秒10.温度精度：0.2摄氏度11.湿度精度：5％12。压力精度：1mmHg 1。
同时测量线性定位误差，直线度误差（双轴），部分摆动角度，俯仰角度和侧倾角度2.设计用于在机床主轴上安装5D / 6D传感器3.可选的无线遥控传感器，用于最长控制它可以是测量高达25米。 4.它可以测量速度，加速度和振动等参数，并评估机器的动态特性。
5.整个系统仅重15公斤，设计紧凑，体积小。测量机器时不需要三脚架。
6.集成干涉镜和激光器集成，简化了调整步骤，缩短了调整时间。通常需要几天时间来测试。
API激光干涉仪可在几个小时内完成。实际应用结果表明，时间可以节省80％。
。该仪器体积小，重量轻，可直接安装在机器导轨上。
6D激光干涉仪主要由频率稳定激光器，干涉仪和6维传感器组成。在激光器发射的激光束受到干扰后，它被6D传感器中的分束器分成三束光束，而光束被锥形反射棱镜反转。
返回干涉仪与参考光束相干以产生干涉条纹，干涉条纹由光学相位检测器识别并电子计数以记录精确的长度位移。第二光束用作直线度测量的参考光束，传感器和参考光束之间的相对位移由安装在传感器中的横向啁啾光电二极管测量。
第三个光束用作安装在6D传感器中的小型光电测角仪的参考源，以测量角度误差（俯仰和偏航角）。为了确保激光束的稳定性，测量仪器仔细考虑了结构的设计和激光器的选择，使测量仪器的横向和角度漂移最小化，从而保证了长期稳定性测量仪器。
。该仪表配有自动气压和环境温度补偿器，可自动校正环境变化对激光波长和长度测量的影响。
该仪表还配备了专门设计的多重数字滤波器，以减少由空气波动和温度梯度引起的测量误差。至少。